外形尺寸               1603（长）X 1406（宽）X 2337 （高）mmWafer尺寸厚度      6inch ,8inch,12inch≥100u···

外形尺寸                       1102.5（长）X 670（宽）X 950.5（高）mmWafer尺寸厚度    &nb···

外形尺寸                    1060（长）X 550（宽）X 930（高）mmWafer尺寸厚度        &···

外形尺寸                    1603（长）X 1406（宽）X 2337 （高）mmWafer尺寸厚度       ···

外形尺寸                             950（长）X 1140（宽）X 2291（高）mmWafer尺寸厚度···

外形尺寸                            1111（长）X 1258（宽）X 2266（高）mmWafer尺寸厚度···