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XY-1208V 全自动切割贴膜机(真空)

XY-1208V 全自动切割贴膜机(真空)

外形尺寸               1603(长)X 1406(宽)X 2337 (高)mm

Wafer尺寸厚度      6inch ,8inch,12inch≥100um

Frame尺寸            6”/8”/12” DISCO标准铁环

UPH                     60PCS,不同Wafer厚度存在差异

设备重量               950KG



产品详情

本全自动贴膜机用于在减薄后的晶圆背面(正面可选)贴合划片框架保护膜。

Robot取片后晶圆校准、识别Wafer ID、真空贴膜、打印Label。

设备特点:

全自动非接触式,无辊轮设计的特殊真空贴膜技术。

Frame空膜张贴技术通过张力可控,确保四周分布均衡。

支持Open cassette、Box、FOUP 裸晶圆自动上料作业方式。

可实现Wafer正面、反面贴膜。

晶圆ESD保护系统。

晶圆/料盒的ID识别功能、并打印张贴条码。

配方切换控制功能。

基于IPC的软件系统。

支持SECS/GEM功能。