XY-1208V 全自动切割贴膜机(真空)
外形尺寸 1603(长)X 1406(宽)X 2337 (高)mm
Wafer尺寸厚度 6inch ,8inch,12inch≥100um
Frame尺寸 6”/8”/12” DISCO标准铁环
UPH 60PCS,不同Wafer厚度存在差异
设备重量 950KG
外形尺寸 1603(长)X 1406(宽)X 2337 (高)mm
Wafer尺寸厚度 6inch ,8inch,12inch≥100um
Frame尺寸 6”/8”/12” DISCO标准铁环
UPH 60PCS,不同Wafer厚度存在差异
设备重量 950KG
本全自动贴膜机用于在减薄后的晶圆背面(正面可选)贴合划片框架保护膜。
Robot取片后晶圆校准、识别Wafer ID、真空贴膜、打印Label。
设备特点:
全自动非接触式,无辊轮设计的特殊真空贴膜技术。
Frame空膜张贴技术通过张力可控,确保四周分布均衡。
支持Open cassette、Box、FOUP 裸晶圆自动上料作业方式。
可实现Wafer正面、反面贴膜。
晶圆ESD保护系统。
晶圆/料盒的ID识别功能、并打印张贴条码。
配方切换控制功能。
基于IPC的软件系统。
支持SECS/GEM功能。