XY-1212U 全自动 Wafer or QFN UV 解胶机
外形尺寸 1211(长)X 1320(宽)X 2220 (高)mm
Frame尺寸 6、8、12inch DISCO标准尺寸
光源形式 UVLED 、汞灯选配
UV照射均匀性 ≤±10 %
UPH 80PCS
设备重量 500KG
外形尺寸 1211(长)X 1320(宽)X 2220 (高)mm
Frame尺寸 6、8、12inch DISCO标准尺寸
光源形式 UVLED 、汞灯选配
UV照射均匀性 ≤±10 %
UPH 80PCS
设备重量 500KG
XY-1212U系列产品适用于Wafer saw或QFN tape saw工艺之后的UV解胶设备,设备通过紫外或汞灯照射加工物载体UV TAPE,从而达到去除Tape粘着力之目的。
取片后扫描Label或Wafer光刻信息、搬运至解胶工作台、UV再固化、Psa印章标记、可贴Label、推送到Cassette 。
产品特点:
简易Lodpot自动上下料系统、Frame环自动居中。
高功率LED或汞灯可选,照射能量实时监测,能量可程序调节。
Wafer光刻信息读取上传SECS/GEM,Label读取、打印可选。
支持单片手动模式解胶。
双搬运交换臂设计,不间断工作。
独特的棱镜导光设计,使工作面能量分布更均匀。
晶圆ESD保护系统。
基于IPC的软件系统。
支持SECS GEM功能。